東北大學(xué)巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵 為中國制造保駕護航
東北大學(xué)巴德純教授課題組與中科院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不脛而走，立即吸引來眾多**企業(yè)前來洽談合作。短短幾年間，產(chǎn)品已經(jīng)在北方微電子、北京中科信、湖南紅太陽、上海中芯國際等國內(nèi)重點用戶的集成電路生產(chǎn)線上成功應(yīng)用，得到了企業(yè)的廣泛好評。產(chǎn)品的應(yīng)用為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟效益，近年來新增利潤累計1.003億元，新增稅收0.153億元，增收節(jié)支總額1.493億元。
2015年以 清華大學(xué) 賈培發(fā)教授為主任，眾多技術(shù)專家為組員的驗收委員會一致認為，項目“完成轉(zhuǎn)子型線分析、優(yōu)化設(shè)計和泵內(nèi)流場理論分析，并搭建了干泵的設(shè)計平臺（理論部分），指導(dǎo)干泵的設(shè)計”，達到了******。
零事故高效研發(fā)，為中國制造保駕護航
2013年底，東北大學(xué)與中科院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司組成工藝測試團隊，與中科院微電子企業(yè)進行刻蝕機真空裝備項目合作。真空泵開始工作不久，現(xiàn)場團隊成員發(fā)現(xiàn)真空泵工作**，效率低下。巴德純教授根據(jù)故障現(xiàn)象，判斷是刻蝕出來的氣體揮發(fā)物在泵內(nèi)壓縮時很快凝結(jié)成顆粒，附著在真空泵轉(zhuǎn)子上，阻礙機器正常運轉(zhuǎn)。根據(jù)這一判斷，工作人員對冷卻方式進行了智能調(diào)節(jié)，避免過低的冷卻溫度，在氣體凝固前將其抽出，保證了真空干泵的高效運行和刻蝕機的正常運轉(zhuǎn)。
真空泵的試驗需要在企業(yè)加工生產(chǎn)線上不停機進行，一旦出現(xiàn)意外將造成重大的生產(chǎn)事故。東北大學(xué)巴德純教授研究真空泵30余年，在各種生產(chǎn)線上進行了上千次的實驗測試，憑借課題組對不同生產(chǎn)環(huán)境的有效預(yù)判，對相應(yīng)的溫度場和流場的準確測量，從沒有出現(xiàn)一次生產(chǎn)意外，以零事故研發(fā)為東北大學(xué)贏得了良好的聲譽。
經(jīng)過東北大學(xué)的理論設(shè)計、中科院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司的產(chǎn)業(yè)化開發(fā)的JGH系列的真空泵投入市場后，受到企業(yè)的青睞，對國外相關(guān)設(shè)備形成沖擊。國外企業(yè)立即大幅度調(diào)低了某種型號真空泵的售價，單臺價格從30余萬元直接降低到15萬元。2014年起，干式真空泵又在東北制藥、同聯(lián)藥業(yè)等知名制藥企業(yè)成功開始應(yīng)用。與制藥企業(yè)采用傳統(tǒng)水環(huán)泵相比，采用干式真空泵只需要很少的能耗，對環(huán)境無污染，而且可以對低沸溶媒實現(xiàn)98%以上的有效泵后回收，實現(xiàn)環(huán)境友好的生產(chǎn)工藝，達到了節(jié)能減排的效果，取得了巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。
目前，巴德純教授團隊與中科院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司合作，已經(jīng)先后開發(fā)了多個具有自主知識產(chǎn)權(quán)的干式真空泵（機組），形成了JGM系列、JGH系列等2大系列10余種型號，滿足了清潔真空環(huán)境、中度真空環(huán)境和惡劣真空環(huán)境等全天候真空抽氣要求。目前，生產(chǎn)的多級真空干泵已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、醫(yī)藥、精密芯片等對清潔真空條件要求十分苛刻的制造業(yè)。
巴德純自信地表示：“中國制造2025將智能制造作為主攻方向，真空泵產(chǎn)品正是這一方向**制造業(yè)發(fā)展的重要關(guān)鍵零部件。東北大學(xué)將逐步形成關(guān)鍵制造裝備供貨能力，為中國的**制造業(yè)保駕護航。”
